超纯水的电阻率可达18.2MΩ-cm
滤除0.1μm甚至更小的颗粒，
细菌含量低于1CFU/ml
在电阻率、有机物含量、颗粒和细菌含量方面，接近理论上的纯度极限，通过离子交换、RO膜、UV、EDI或蒸馏手段预纯化
达成指标：电阻率、TDS<10ppb、有机物含碳的总量TOC<10ppb
超纯水的电阻率可达18.2MΩ-cm
滤除0.1μm甚至更小的颗粒，
细菌含量低于1CFU/ml
在电阻率、有机物含量、颗粒和细菌含量方面，接近理论上的纯度极限，通过离子交换、RO膜、UV、EDI或蒸馏手段预纯化
达成指标：电阻率、TDS<10ppb、有机物含碳的总量TOC<10ppb
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